Приставка магнетронного распыления ПМР-3

Приставка магнетронного распыления ПМР-3 служит для модернизации более старой модели ВУП-5.

Магнитораспыляющая система обеспечивает:

• универсальность процесса, что позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
• высокую скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
• сохранение соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
• получение особо чистых пленок;
• высокую адгезию пленок и подложки;
• возможность изменения структуры и свойств пленок;
• распыление нескольких материалов без разгерметизации объема;
• низкую пористость пленок даже при малых толщинах;
• небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру;
• высокую энергетическую эффективность процесса;
• использование для осаждения и травления широкого класса материалов.

В состав приставки магнетронного распыления ВН 2000 входит:

• магнетрон, диаметр мишени 80мм, устанавливается на фланце, в верхней части рабочего колпака;
• блок питания (1 А, 900 В), устанавливается сверху пульта вакуумного универсального поста.

Требуется изготовление нового рабочего колпака с размещенным сверху фланцем Dy 170 для установки магнетрона. Напыление осуществляется сверху вниз.